福州梅阳光电：高端设备助力光学元件精密制造树立新标杆
February 28, 2025
福州梅阳光电：高端设备助力光学元件精密制造树立新标杆
精密光学元件的加工精度和质量稳定性是光电产业高端发展的核心基石。福州美阳光电长期深耕光学元件领域，以技术升级为核心驱动力，自豪地引进了两款世界级设备——离子束精加工设备ÅFiSy IFS300A和双折射应力仪Exicor 150AT。凭借其卓越的性能和精准的适应性，这两款设备为中高端光学元件的制造提供了从超精密加工到质量检测的端到端解决方案，充分展现了公司在光学制造领域的专业实力和技术前瞻性。
ÅFiSy IFS300A：国内超精密光学元件加工基准测试
作为国内最畅销的高端离子束抛光设备，ÅFiSy IFS300A 已实现进口替代和国内自主研发，累计销量超过40台。它赢得了富士通、华为、长光卫星等领先企业的重复采购和认可，成为光学元件超精密加工的首选设备。该设备基于真空环境下的离子束溅射原理，通过原子级材料去除实现表面精加工，其核心优势在于技术先进性和应用可靠性。
在核心配置方面，该设备配备了德国原装进口的IOT射频离子源，并结合专利的Fraday杯+坐标测量探针系统，可实现优于5μm的重复夹持和定位精度，从而精确捕捉光学元件的加工基准。它采用三层石墨栅格结构和可定制的光阑设计，能够灵活调节光斑尺寸，以满足不同规格光学元件的加工需求。在性能方面，加工精度达到PV≤15nm和rms≤0.5nm，经工艺优化后，表面粗糙度可低至Ra≤0.3nm，去除功能稳定性超过95%。连续8小时加工过程中峰值效率的最大误差仅为2.76%，确保了批量生产的一致性和可靠性。
在应用适应性方面，该设备支持加工石英、蓝宝石、碳化硅、氟化钙等多种光学材料，并能精确兼容平面、球面、非球面、离轴非球面、自由曲面等复杂结构的光学元件。其非接触式加工特性避免了边缘效应和亚表面损伤。该设备配备自主研发的工艺控制和计算软件，兼容Zygo干涉仪等主流测试设备的数据接口。通过多轮迭代加工，可显著优化光学元件的表面形状误差，大幅提升其透光率和成像质量，为高端透镜、光学窗口、光刻物镜等核心光学元件的研发和生产提供关键支撑。
Exicor 150AT：光学元件应力检测的精准守护者
残余应力是影响光学元件光学性能、机械稳定性和使用寿命的关键因素。Exicor 150AT凭借其高精度检测能力，已成为光学元件质量控制的核心设备。该设备基于正交偏振光检测原理，集成了先进的光学成像和信号处理技术，能够精确捕捉光学元件的双折射分布和残余应力。
在性能参数方面，该设备的双折射测量精度可达±0.1nm，应力测量范围为0-500MPa，能够精确识别基材和成品（如光学玻璃、光学晶体和聚合物光学材料）中的微应力变化。该设备配备高分辨率1920×1080像素CCD相机和专业分析软件，可直观地呈现应力分布，为工艺优化提供数据支持。在应用场景方面，该设备全面覆盖光学元件的原材料来料检测、过程质量监控和成品性能评估。它支持检测各种规格和形状的光学元件，并配备可调节的样品台，以适应透镜、棱镜和光学窗口等各种产品的测试需求，确保每个光学元件都满足高端应用的严格标准。
这两台高端设备的应用，不仅提升了福州美阳光电在光学元件制造领域的核心设备体系，更实现了从超精密加工到精密检测的整体能力升级。未来，福州美阳光电将继续依托顶尖设备和专业技术团队，为客户提供定制化的光学元件制造解决方案。凭借精准可靠的产品和服务，助力光电产业高端化发展，推动中国精密光学制造产业迈上新台阶。
