VUV定制偏振器：适用于193nm激光应用的高精度偏振器

193nm格兰泰勒偏振器

193nm格兰-泰勒偏振器采用由空气间隙隔开的α-BBO双折射晶体，消除了粘合剂材料在深紫外波段的吸收问题。单层MgF₂减反射膜确保193nm的高透射率，同时保持优异的消光性能。该器件具有高激光损伤阈值，是ArF准分子激光光刻和深紫外激光加工等应用中高精度偏振控制的理想选择。特征：空气间隙接近布鲁斯特角切割高极化纯度深紫外透射

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193nm格兰激光偏振器

193nm格兰激光棱镜采用高光学均匀性的EUV晶体，在窄带内具有优异的偏振稳定性。精密封装减小光路偏差，适用于高精度深紫外激光检测。特征：空气隙接近布鲁斯特角切割高极化纯度装有逃生窗适合高功率应用

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洛匈棱镜-193nm

洛匈棱镜类似沃拉斯顿偏振器，将入射光束分离为寻常光线和非寻常光线，但非寻常光线直线透过，而寻常光线则以一定偏角透过。特征：光路无胶高极化纯度适用于中低功率应用

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193nm少级波片

193nm少级波片是深紫外波段偏振器件，可精确调控入射光偏振态，适用于光刻、激光科研等深紫外光学系统，由耐193nm辐射的特殊材料制成，保障稳定性与精度。特征：厚度：0.05-0.5mm 高损伤阈值高延迟均匀性

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193nm空气隙零级波片

193nm空气隙零级波片，无粘合层，结构稳定性强，抗老化性能好。石英耐深紫外腐蚀，适合连续高功率激光工作，偏振控制稳定。特征：空气隙厚度0.3~1.5mm高损伤阈值AR镀膜并安装

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真空紫外193nm系列

VUV激光定制偏振片系列工作波长为193.368nm，覆盖160-250nm波长范围。该系列产品包括VUV薄晶体偏振片、洛雄偏振片、格兰偏振片、VUV广角波片等。这些产品适用于各种激光应用场景，凭借其高精度和高可靠性，为真空紫外激光领域提供专业的偏振解决方案。无论是科研还是工业应用，都能满足客户对光学元件的严苛要求。有需求的客户欢迎联系我们。

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用于 193nm 激光的 VUV 定制偏振器

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