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193nm零级空气隙波片

主页 193nm深紫外偏振元件

193nm零级空气隙波片

深紫外空气隙波片
193nm零级空气隙波片

193nm零级空气隙波片,无胶合层,结构稳定性强,抗老化性能好,石英材料耐深紫外腐蚀,适合连续高功率激光运行,偏振控制稳定。

 

特点:

空气间隙

厚度:0.8~2.0mm

高延迟均匀性

高损伤阈值

  • 货号 :

    WPA-193nm
  • 产品产地 :

    FuZhou
新产品

规格:

材料:
石英晶体
直径公差:
+0.0, -0.1mm
波前畸变 :
λ/8 @ 632.8nm
延迟精度:
λ/50
平行度:
<1 arc second
光洁度:
20/10
通关孔径:
>80%
镀膜:
不镀膜或按要求定制镀膜
标准波长:
193.368nm

产品型号:

半波片 P/N#
四分之一波片 P/N#
直径(mm)
WPA-210-193
WPA-410-193
10.0
WPA-212-193
WPA-412-193
12.7
WPA-215-193
WPA-415-193
15.0
WPA-220-193
WPA-420-193
20.0
WPA-225-193
WPA-425-193
25.4
WPA-230-193
WPA-430-193
30.0
WPA-235-193
WPA-435-193
35.0
WPA-250-193
WPA-450-193
50.0

 

193nm零级空气隙波片技术优势:

193nm零级空气隙波片采用双石英片空气隙结构,大幅降低材料吸收损耗,在 ArF 准分子激光等深紫外波段透过率优异。空气间隙设计规避胶合工艺热应力,耐受高功率激光长期运行,引入离子束精修工艺,实现纳米级表面平整度,显著减少散射损耗,优化波前质量,适配光刻等高精密偏振调控场景。

 

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