193nm零级空气隙波片,无胶合层,结构稳定性强,抗老化性能好,石英材料耐深紫外腐蚀,适合连续高功率激光运行,偏振控制稳定。
特点: 空气间隙 厚度:0.8~2.0mm 高延迟均匀性 高损伤阈值 |
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货号 :
WPA-193nm产品产地 :
FuZhou规格:
材料:
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石英晶体
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直径公差:
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+0.0, -0.1mm
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波前畸变 :
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λ/8 @ 632.8nm
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延迟精度:
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λ/50
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平行度:
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<1 arc second
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光洁度:
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20/10
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通关孔径:
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>80%
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镀膜:
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不镀膜或按要求定制镀膜
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标准波长:
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193.368nm
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产品型号:
半波片 P/N#
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四分之一波片 P/N#
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直径(mm)
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WPA-210-193
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WPA-410-193
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10.0
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WPA-212-193
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WPA-412-193
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12.7
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WPA-215-193
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WPA-415-193
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15.0
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WPA-220-193
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WPA-420-193
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20.0
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WPA-225-193
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WPA-425-193
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25.4
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WPA-230-193
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WPA-430-193
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30.0
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WPA-235-193
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WPA-435-193
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35.0
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WPA-250-193
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WPA-450-193
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50.0
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193nm零级空气隙波片技术优势:
193nm零级空气隙波片采用双石英片空气隙结构,大幅降低材料吸收损耗,在 ArF 准分子激光等深紫外波段透过率优异。空气间隙设计规避胶合工艺热应力,耐受高功率激光长期运行,引入离子束精修工艺,实现纳米级表面平整度,显著减少散射损耗,优化波前质量,适配光刻等高精密偏振调控场景。