193nm空气隙零级波片，无粘合层，结构稳定性强，抗老化性能好。石英耐深紫外腐蚀，适合连续高功率激光工作，偏振控制稳定。
特征： 空气隙 厚度0.3~1.5mm 高损伤阈值 AR镀膜并安装 |  |
货号 :
WPA-193nm产品产地 :
FuZhou规格：
材料： | 石英 |
直径公差： | +0.0, -0.1毫米 |
波前畸变： | λ/8 @ 632.8nm |
延迟公差： | λ/50 |
并行性： | <1角秒 |
表面质量： | 20/10 |
通光孔径： | >80% |
涂层： | S1&S2：R<0.2% @ 波长 |
标准波长： | 193纳米 |
标准产品：
半波片 P/N# | 四分之一波片 P/N# | 直径（毫米） |
WPA-210-193 | WPA-410-193 | 10.0 |
WPA-212-193 | WPA-412-193 | 12.7 |
WPA-215-193 | WPA-415-193 | 15.0 |
WPA-220-193 | WPA-420-193 | 20.0 |
WPA-225-193 | WPA-425-193 | 25.4 |
WPA-230-193 | WPA-430-193 | 30.0 |
WPA-235-193 | WPA-435-193 | 35.0 |
WPA-250-193 | WPA-450-193 | 50.0 |
193nm空气隙零级波片技术优势：
193nm空气隙波片采用双石英空气隙结构，大幅降低材料吸收损耗，在ArF准分子激光器等深紫外波段具有优异的透射率。其空气隙设计避免了键合产生的热应力，可承受长时间高功率激光工作。结合离子束抛光技术，波片实现了纳米级表面平整度，显著降低了散射损耗并优化了波前质量，适用于光刻工艺中的高精度偏振控制。
193nm格兰-泰勒偏振器 采用由空气间隙隔开的α-BBO双折射晶体，消除了粘合剂材料在深紫外波段的吸收问题。单层MgF₂减反射膜确保193nm的高透射率，同时保持优异的消光性能。该器件具有高激光损伤阈值，是ArF准分子激光光刻和深紫外激光加工等应用中高精度偏振控制的理想选择。 特征：空气隙接近布鲁斯特角切割高极化纯度深紫外透射
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193nm格兰激光棱镜 采用高光学均匀性的EUV晶体，在窄带内具有优异的偏振稳定性。精密封装减小光路偏差，适用于高精度深紫外激光检测。 特征：空气隙接近布鲁斯特角切割高极化纯度装有逃生窗适合高功率应用
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洛匈棱镜 类似沃拉斯顿偏振器，将入射光束分离为寻常光线和非寻常光线，但非寻常光线直线透过，而寻常光线则以一定偏角透过。 特征： 光路无胶 高极化纯度 适用于中低功率应用
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193nm空气隙零级波片，无粘合层，结构稳定性强，抗老化性能好。石英耐深紫外腐蚀，适合连续高功率激光工作，偏振控制稳定。 特征：空气隙厚度0.3~1.5mm高损伤阈值AR镀膜并安装
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VUV激光定制偏振片系列工作波长为193.368nm，覆盖160-250nm波长范围。该系列产品包括VUV薄晶体偏振片、洛雄偏振片、格兰偏振片、VUV广角波片等。这些产品适用于各种激光应用场景，凭借其高精度和高可靠性，为真空紫外激光领域提供专业的偏振解决方案。无论是科研还是工业应用，都能满足客户对光学元件的严苛要求。有需求的客户欢迎联系我们。
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