193nm格兰激光棱镜 采用高光学均匀性的EUV晶体，在窄带内具有优异的偏振稳定性。精密封装减小光路偏差，适用于高精度深紫外激光检测。
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特征： 空气隙 接近布鲁斯特角切割 高极化纯度 装有逃生窗 适合高功率应用 |
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货号 :
GLP-193产品产地 :
FuZhou规格：
| 材料： | EUV晶体 |
| 波长范围： | 193.368纳米 |
| 消光比： | <1x10-4 |
| 并行性： | <1 弧分 |
| 表面质量： | 20/10 |
| 光束偏差： | < 3弧分 |
| 波前失真： | λ/4@632.8nm |
| 损伤阈值： | >500 兆瓦/厘米2 |
193nm格兰激光偏振器
| 零件编号 | 波长范围(nm) | 消光比 | 视场角(°) | CA fa(毫米) | 外径(毫米) | 长度±0.1(毫米) |
| GLP4006 | 193.368 | <1x10-4 | >6.0 | 6.0 | 15.0 | 29.0 |
| GLP4008 | 8.0 | 25.4 | 31.0 | |||
| GLP4010 | 10.0 | 25.4 | 31.0 | |||
| GLP4015 | 15.0 | 30.0 | 38.6 | |||
| GLP4020 | 20.0 | 38.0 | 48.9 |
技术优势 193nm格兰激光偏振器：
193nm 格兰激光偏振片的技术优势包括高偏振纯度，即使在广角入射下也能保持稳定的性能。它们具有出色的热稳定性，在宽温度范围内光学波动极小。凭借强大的抗激光损伤能力，它们适用于高功率深紫外应用。它们与深紫外光学系统兼容且易于安装，可完美满足光刻和激光检测等高精度应用需求。
193nm格兰-泰勒偏振器 采用由空气间隙隔开的α-BBO双折射晶体，消除了粘合剂材料在深紫外波段的吸收问题。单层MgF₂减反射膜确保193nm的高透射率，同时保持优异的消光性能。该器件具有高激光损伤阈值，是ArF准分子激光光刻和深紫外激光加工等应用中高精度偏振控制的理想选择。 特征： 空气间隙 接近布鲁斯特角切割 高极化纯度 深紫外透射
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193nm格兰激光棱镜 采用高光学均匀性的EUV晶体，在窄带内具有优异的偏振稳定性。精密封装减小光路偏差，适用于高精度深紫外激光检测。 特征： 空气隙 接近布鲁斯特角切割 高极化纯度 装有逃生窗 适合高功率应用
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洛匈棱镜 类似沃拉斯顿偏振器，将入射光束分离为寻常光线和非寻常光线，但非寻常光线直线透过，而寻常光线则以一定偏角透过。 特征： 光路无胶 高极化纯度 适用于中低功率应用
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