193nm格兰-泰勒偏振器 采用由空气间隙隔开的α-BBO双折射晶体,消除了粘合剂材料在深紫外波段的吸收问题。单层MgF₂减反射膜确保193nm的高透射率,同时保持优异的消光性能。该器件具有高激光损伤阈值,是ArF准分子激光光刻和深紫外激光加工等应用中高精度偏振控制的理想选择。
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特征: 空气隙 接近布鲁斯特角切割 高极化纯度 深紫外透射 |
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货号 :
GTP-193产品产地 :
FuZhou规格:
| 材料: | 深紫外材料 |
| 波长范围: | 193.368纳米 |
| 消光比: | <1x10-4 |
| 并行性: | <1 弧分 |
| 表面质量: | 20/10 |
| 光束偏差: | < 3弧分 |
| 波前失真: | 1/4@632.8nm |
| 损伤阈值: | >200 兆瓦/厘米2 |
193nm格兰泰勒偏振器
| 零件编号 | 波长范围(nm) | 消光比 | 视场角(°) | CA fa(毫米) | 外径(毫米) | 长度±0.1(毫米) |
| GTP4006 | 193.368 | <5x10-6 | >6.0 | 5.0 | 25.4 | 13.0 |
| GTP4008 | 6.5 | 25.4 | 14.0 | |||
| GTP4010 | 8.0 | 25.4 | 16.0 | |||
| GTP4013 | 10.0 | 25.4 | 20.0 | |||
| GTP4015 | 12.0 | 30.0 | 23.0 | |||
| GTP4020 | 18.0 | 38.1 | 28.0 | |||
| GTP4025 | 22.0 | 50.8 | 33.0 |
技术优势 193nm格兰泰勒偏振器:
193nm格兰-泰勒偏振片采用深紫外兼容材料,在193nm波长下具有超低吸收率和优异的透射率,可精确保持偏振方向。其气隙设计可避免深紫外光中粘合剂的吸收干扰,并搭配专用减反射膜以减少反射损失,适用于高功率深紫外激光应用场景。