193nm格兰泰勒棱镜采用极紫晶体材料,通过空气隙结构分离两棱镜,有效避免胶合材料在深紫外波段的吸收问题,在 193nm 波长下实现高透射率,同时保持优异的消光性能,其结构设计具备高激光损伤阈值,适用于 ArF 准分子激光光刻、深紫外激光加工等需要精确偏振控制的高精度应用场景。
特征: 空气间隙 接近布鲁斯特角切割 高偏振极化 深紫外透过 |
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货号 :
GTP-193产品产地 :
FuZhou规格:
材料: | 极紫晶体 |
波长范围: | 193.368nm |
消光比: | <1x10-4 |
平行度: | <1′ |
光洁度: | 20/10 |
光束背离: | < 3′ |
波前畸变: | 1/4@632.8nm |
损伤阈值: | >200 MW/cm2 |
193nm格兰泰勒棱镜:
型号 | 波长范围nm) | 消光比 | 视场角(°) | 通光孔径(mm) | 直径(mm) | 长度(mm) |
GTP4006 | 193.368 | <5x10-6 | >6.0 | 5.0 | 25.4 | 13.0 |
GTP4008 | 6.5 | 25.4 | 14.0 | |||
GTP4010 | 8.0 | 25.4 | 16.0 | |||
GTP4013 | 10.0 | 25.4 | 20.0 | |||
GTP4015 | 12.0 | 30.0 | 23.0 | |||
GTP4020 | 18.0 | 38.1 | 28.0 | |||
GTP4025 | 22.0 | 50.8 | 33.0 |
193nm格兰泰勒棱镜的技术优势:
193nm格兰泰勒棱镜核心优势在于采用深紫外适配材料,这类材料在193nm波段吸收极低,透过率优异,能精准维持偏振方向,空气隙结构避免胶合材料在深紫外的吸收干扰,配合专用增透膜,减少深紫外光反射损耗,适配高功率深紫外激光场景。