193nm少级波片是深紫外波段偏振器件，可精确调控入射光偏振态，适用于光刻、激光科研等深紫外光学系统，由耐193nm辐射的特殊材料制成，保障稳定性与精度。
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特征： 厚度：0.1-0.5mm 高损伤阈值 高延迟均匀性 |
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货号 :
WPL产品产地 :
FuZhou规格：
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材料:
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石英晶体
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直径公差：
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+0.0, -0.1mm
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波前畸变:
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λ/8 @ 632.8nm
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延迟精度:
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λ/50
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平行度:
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<1″
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光洁度:
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20/10
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通光孔径:
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>90%
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镀膜：
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不镀膜或按要求定制镀膜
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标准波长:
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193.368nm
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193nm少级波片:
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半波片 P/N#
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四分之一波片 P/N#
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直径(mm)
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WPL-210-193
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WPL-410-193
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10.0
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WPL-212-193
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WPL-412-193
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12.7
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WPL-215-193
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WPL-415-193
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15.0
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WPL-220-193
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WPL-420-193
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20.0
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WPL-225-193
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WPL-425-193
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25.4
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WPL-230-193
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WPL-430-193
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30.0
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WPL-235-193
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WPL-435-193
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35.0
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WPL-250-193
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WPL-450-193
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50.0
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193nm少级波片的技术优势：
193nm少级波片通过优化专为深紫外波长的双折射材料，并结合离子束精修工艺，实现了高幅度相位延迟，其核心优势包括在 193nm 波长下相位误差 <±1% 的高延迟精度 —— 离子束精修技术的应用大幅降低了材料光学厚度的微观偏差，从而为准分子激光器等深紫外激光系统提供更精确的偏振控制。其紧凑结构无需复杂的级联设计，非常适用于光刻系统中的集成深紫外光学模块；较高的激光损伤阈值（>5 J/cm² @ 193nm）确保了其在高功率深紫外应用中的可靠性，而离子束精修形成的超光滑表面进一步减少了高能激光照射下的局部能量聚集风险。在深紫外光谱偏振测量系统中，经离子束精修保障的稳定相位延迟使偏振度测量误差控制在 2% 以内，为光刻胶表征、大气臭氧层光谱分析等场景的高精度偏振分析提供了便利。
洛匈棱镜 类似沃拉斯顿偏振器，将入射光束分离为寻常光线和非寻常光线，但非寻常光线直线透过，而寻常光线则以一定偏角透过。 特征： 光学接触 高极化纯度 适用于低功率应用
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